Che cosa è una macchina di polverizzazione?

Una macchina di polverizzazione è di solito una piccola camera stagna in cui particelle energetiche come gli elettroni bombardano un materiale di base che espelle atomi dalla superficie. Questi atomi poi rimbalzare delle pareti della camera, rivestendo un oggetto campione all'interno della camera. Microscopi elettronici a scansione (SEMS), che si basano sulla conduttività elettrica di campioni da visualizzare caratteristiche a scala nanometrica, spesso si basano su una macchina di polverizzazione per rivestire campioni biologici con un sottile strato di platino prima per la visualizzazione. Altri usi per tecnologia pressa sputtering rivestimento comprende film sottili nel processo di deposizione per l'industria dei semiconduttori e per incidere uno strato superficiale lontano da un materiale per determinare la sua composizione chimica.

Sebbene le macchine per cui una macchina sputtering prepara un campione può essere molto complessa e costosa, attrezzature sputtering non deve essere. Macchine Sputtering possono essere relativamente semplici dispositivi operanti su principi fisici stabiliti, e spesso non parti mobili o la necessità di manutenzione complesse. Essi variano nel formato da dispositivi top tavolino ai grandi modelli da pavimento.

Vapori deposizione fisica è un metodo di routine utilizzato nella progettazione di macchine sputtering. Il materiale di deposizione viene convertito in un vapore in una camera di polverizzazione a bassa pressione, di solito un vuoto parziale. Il vapore si condensa sul materiale del substrato nella camera per formare una pellicola sottile. Questa pellicola può essere solo diversi strati di atomi o molecole di spessore, e addensare in proporzione diretta quanto tempo il processo di sputtering continua. Altri fattori di spessore sottile pellicola comprendono la massa di ciascun materiale coinvolto e il livello di energia delle particelle di rivestimento, che può praticati da decine di volt di elettroni su un massimo di migliaia.

Atomi caricati noti come ioni sono utilizzati anche da una macchina sputtering in un processo noto come potenziale sputtering. Il materiale polverizzazione è dato una carica ionica che poi perde quando urta con la superficie di destinazione. Correlati a questo processo è attacco con ioni reattivi (RIE), che utilizza materiali naturalmente ionici in spectrometery massa di ioni (SIMS) ricerca secondaria, per analizzare la presenza di microelementi in materiali. Trasformazione statica SIMS sarà sputter ad un tasso tal fine che solo un decimo di un monostrato atomico verrà rimosso dalla superficie di destinazione. È, quindi, un altro strumento utile nella ricerca nanotecnologie come la macchina per sputtering SEM.

Altri usi per una macchina di polverizzazione includono vetro del rivestimento piano, acrilici, e altre materie plastiche, così come ceramiche e cristalli diversi dal silicio. Possono anche essere utilizzati come metodo molto fine di pulizia e la lucidatura componenti delicati. Gioielli costosi e articoli per la tavola, come l'oro posate possono anche subire una deposizione a polverizzazione, come film d'oro e alluminio possono specializzato.